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机械电子产品: 关于FOUP载入口的新机型销售

  • 开发并销售满足新一代直径为450mm晶圆要求的高性能新机型以及用于300mm晶圆、提高价格竞争力的新机型/li>
TAS450 Type A2
TAS450 Type A2
TAS300 Type J1
TAS300 Type J1

2012年7月3日

TDK株式会社(社长:上釜健宏)针对半导体制造装置开发出两种FOUP※载入口(品名:“TAS450 Type A2”及“TAS300 Type J1”),并从2012年7月起开始销售。

在尖端半导体器件制造过程中高度洁净环境必不可少,为此需要投入大笔资金,配备大规模空气洁净装置等设备。为了控制此类设备投资,近年来主要采用的方式是将半导体基板(晶圆)收纳于安全密封的传送盒(FOUP)中,在半导体制造装置之间进行自动传送。

此次,敝社开发和销售的两种新产品的概要如下。

1. 关于TAS450 Type A2
新机型满足新一代直径为450mm尺寸晶圆要求,并实现了行业内最高水准的尘粒控制效果
主要特点

该产品使用被喻为半导体行业的新一代技术,即直径为450mm的硅晶圆,是作为制造半导体的工艺中最新型传送装置而开发的。
此外,为防止晶圆出入之际产生的尘粒(垃圾),研究了门的开关方式以防止外部尘粒进入半导体装置内部,并且还着力研究防止该产品自身产生尘粒。

2. 关于TAS300 Type J1
新机型实现行业最高水准的轻量化和高速化并具备价格竞争力
主要特点

该产品是使用于半导体行业内现有制造工艺中,直径为300mm的硅晶圆传送装置,是作为提高价格竞争力的新机型而开发的。它是2009年投放市场的Type H1系列的后续机型,通过实现整体装置的轻量化,重量比以往产品减少了1/2。在晶圆出入门开关速度方面,与H1系列相比速度约提高40%。此外,开关门与TAS450 Type A2一样,也采用了防止产生和进入尘粒设计。

用语集
  • FOUP:由半导体装置厂商行业团体SEMI实施的标准化半导体晶圆收纳用传送盒。
主要应用
  • 用于半导体制造装置间的硅晶圆自动传送
关于 TDK 公司简介

TDK公司是一家领先的电子公司,总部位于日本东京。公司成立于1935年,主营铁氧体, 是一种用于电子和磁性产品的关键材料。TDK的最新产品线包括无源元件、磁性应用产品以及能源装置、闪存应用设备等。TDK目前侧重于以下高要求的市场,如信息和通信技术以及消费、汽车和工业电子领域。公司在亚洲、欧洲、北美洲和南美洲拥有设计、制造基地和销售办事处网络。2011财年,TDK公布的销售总额为106亿美元,全球雇员88,000人。

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各地区联系方式
地域 负责人 所属 电话号码 邮件地址
Greater China Ms. Clover Xu TDK China Co., Ltd. +86 21 61962307 pr@cn.tdk.com

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